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日置HIOKI在半導(dǎo)體器件測試中的應(yīng)用

時間:2021-01-22 12:06:27 來源:日本日置 點擊:1161次

半導(dǎo)體是什么

半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體和絕緣體質(zhì)檢的材料,目前,常用的半導(dǎo)體材料包括三種:硅、鍺、砷化鎵。平時說的半導(dǎo)體,其實是指半導(dǎo)體元器件(或集成電路),也就是由半導(dǎo)體材料制造的電子元器件(或集成電路)。

半導(dǎo)體是什么

半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體在我們熟悉的集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、汽車電子、大功率電源轉(zhuǎn)換等領(lǐng)域都有應(yīng)用,而日置HIOKI的測試儀器如功率分析儀、存儲記錄儀數(shù)據(jù)采集儀、電池測試儀、LCR測試儀、阻抗測試儀等也在這些領(lǐng)域擔任著重要的測試任務(wù)。

日置HIOKI在半導(dǎo)體C-V測試上應(yīng)用

那么日本日置產(chǎn)品在半導(dǎo)體元器件(或集成電路)測試中的應(yīng)用有哪些呢?以晶圓級MOSFET為例,晶圓電容-電壓(C-V)特性曲線測試是半導(dǎo)體參數(shù)測試中的比較關(guān)注的一部分,CV頻率范圍根據(jù)不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高頻段,通過上位機軟件在固定頻段下以0.1V或者0.5V的步進掃描電壓測試C值,電壓范圍有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方軟件控制)

日置HIOKI在半導(dǎo)體C-V測試上應(yīng)用

通過C-V測量還可以對其他類型半導(dǎo)體器件和工藝進行特征分析,如:BJT晶體管,二極管與PN結(jié),III-V族化合物,二維材料,金屬材料,光子檢測器件,鈣鈦礦與太陽能電池,LED與薄膜晶體管,非易失性存儲器與材料,MEMS與傳感器,分子與納米器件,半導(dǎo)體器件特性分析與建模,器件噪聲特性分析以及檢測工藝參數(shù)和失效分析機制等。

低頻阻抗分析儀IM3590

擴展應(yīng)用
半導(dǎo)參數(shù)測試中除了CV電容電壓特性曲線測試,還有IV電流電壓特性曲線測試,可以將LCR測試儀IM3536搭配皮安表SM7110以及其他測試儀器進行系統(tǒng)集成。

日本日置在半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品介紹

低頻阻抗分析儀IM3590

低頻阻抗分析儀IM3590


用于測試器件、材料等
● 針對DC以及1mHz~200kHz范圍內(nèi)的頻率帶寬可設(shè)置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能夠進行共振頻率的測量和在接近工作條件的狀態(tài)下進行測量、評估。
● 測量頻率1kHz,測量速度FAST時,可達zui快2ms。有助于掃頻高速化。
● Z的基本精度是±0.05%。從零部件檢查到研究開發(fā)的測量,都能達到推薦精度。

LCR測試儀IM3536

LCR測試儀IM3536

直流偏置電壓高達±500V
● 測量頻率DC,4Hz~8MHz
● 測量時間:zui快1ms
● 基本精度:±0.05% rdg.
● mΩ以上的精度保證范圍,也可安心進行低阻測量
● 可內(nèi)部發(fā)生DC偏壓測量
● 從研發(fā)到生產(chǎn)線活躍在各種領(lǐng)域中

高頻阻抗分析儀IM7587
高頻阻抗分析儀IM7587可穩(wěn)定測量高達3GHz的阻抗
● 測試電壓測量頻率:1MHz~3GHz
● 測量時間:zui快0.5ms(模擬測量時間)
● 測量值偏差:0.07%(用3GHz測量線圈1nH時)
● 基本精度:±0.65% rdg.
● 緊湊主機僅機架一半大小,測試頭尺寸僅手掌大小
● 豐富的接觸檢查(DCR測量、Hi-Z篩選、波形判定)
● 分析模式下可以邊掃描測量頻率、測量信號電平邊進行測量


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